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赛微电子:参股子公司Silex此前已实现MEMS-OCS的量


  11月12日正在互动平台回覆投资者提问时暗示,公司参股子公司Silex此前已实现MEMS-OCS的量产。公司控股子公司Fab3此前已实现MEMS-OCS的风险试产。MEMS-OCS是一组由指定命量平面镜所形成的微镜阵列,可用于切确调理光链的折射标的目的,实现光链之间的信号切换取双向,提高运算系统的全体机能及不变性,同时降低系统成本取功耗,可正在收集、超算系统集群等场景中获得普遍使用。MEMS-OCS的手艺壁垒高,布局复杂细密,焦点正在于其精巧的驱动机制,正在制制工艺方面,MEMS光开关采用了一系列先辈的微加工手艺,如光刻、化学侵蚀和晶片键合等。MEMS-OCS的开辟涉及光学、机械、电子、需要正在光损耗、切换速度、机械不变性之间取得均衡。同时,大规模NxN阵列的设想取节制,对信号同步要求高,需正在数百万次机械动做中不变靠得住。MEMS-OCS的晶圆加工、概况镀膜、微机械布局等工序均必需高度精准、批次不变,其任何细小瑕疵,都可能正在出产中被放大为良率下降的现患。MEMS-OCS的布局复杂细密,工艺手艺壁垒较高。





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